반도체공정기술로드맵 및 고객 요구성능을 이해하고, 재료, 부품, 부분품, 장치를 이용한 구상설계, 상세설계, 부품역학 해석 및 검증을 통해 반도체장비의 기구장치를 연구·개발한다.
수행직무
장비공정연구원과 공동으로 구상한 기초설계를 기준으로 장비의 주요 기능을 정의하고, 각 장치 및 모듈별 상세사양을 결정한 다음, 최적의 재료, 부품, 부분품, 장치 등을 선정한다. 상세사양 기준으로 선정된 재료, 부품, 부분품 및 장치들 중에서 유체, 진동, 열 및 광역학해석이 필요한 부품들을 분류하고, 각 부품특성에 적합한 해석프로그램을 선정하여 실행한다. 각 부품별 해석결과를 바탕으로 부품적합성 여부를 판단하며, 부품재선정 및 해석작업을 반복하여 최종사양을 결정한다. 최종사양을 기준으로 기구 및 유틸리티 관련 부품에 대한 상세설계를 진행하여 도면을 작성한다. 장비의 조립, 시험성능평가 및 고객사 현장평가를 통해 발견되는 기구설계 오류분석으로 설계개선을 지원한다. 국내외 학회, 세미나, 연구기관 및 제조업체로부터 획득한 정보 및 제품을 기반으로 다양한 재료, 부품, 부분품, 장치 및 장비기술을 시험평가하고, 최적화하는 연구·개발활동을 단독 또는 공동으로 수행한다. 반도체장비 개발과정에는 장비조립의 편이성, 제조원가 절감, 공정 및 장비 신뢰성을 보증하는 재료, 부품, 부분품, 장치 및 장비기술을 연구·개발한다.